准分子激光剥蚀系统采用精细化控制单元，高能量的“平顶(homogenized-flat)”激光和飞速响应的“边对边(shot-to-shot)”技术带来高分辨率空间分析能力。创新的“动态剥蚀功能(fire-on-the-fly)”采用高分辨率XY移动平台技术，同时移动平台能够实时触发激光的发射，*应用于线扫描的深度剥蚀和元素分布图的分析。另外，高分辨率GigE真彩显微摄像观察技术，观察单元光学分辨率小于2μm，提供透射、反射和环形可调亮度的照明和十字交叉偏振系统，能够实时显示实时缩放的动态宽视野场，实现快速样品定位导航。结合足够高的剥蚀能量(50J/cm2)，AnalyteHE能够轻松剥蚀各类样品甚至是具有挑战性的物质，包括高纯石英、弹性碳酸盐等样品，同时光束能量均匀化分布，以确保在整个光斑尺寸范围内和各种材料上均匀剥蚀。
准分子激光剥蚀系统主要性能参数：
1.超短193nm激光波长
2.脉冲宽度＜20ns
3.足够剥蚀石英及萤石的能量密度，高达50J/cm2
4.密闭气室
5.激光束能量分布均匀化，剥蚀均匀
6.标配100x100mm移动平台，可选150x150mm平台
7.同步“动态剥蚀功能”实现精确的剥蚀深度控制
8.独立的视频和激光光学控制单元，能够更好的查看样品剥蚀点
9.剥蚀光斑范围1-170μm
10.标配30个剥蚀光斑，光斑可定制
11.标配HelExII双体积双气路涡流样品池
准分子激光剥蚀Geostar软件，可实现与ICP连接测试，准分子激光最小束斑可达及微米，剥蚀坑底部平坦，形状规则，可利用激光共聚焦或原子力显微镜测量剥蚀坑体积。
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